晶向

硅的各向异性湿法刻蚀

在很多人的印象中“湿法刻蚀”往往意味着各向同性，因为常见的刻蚀液对材料的蚀刻往往不区分晶向，往所有方向均匀腐蚀。但是湿法蚀刻中也能做到非常强的各向异性，那就是硅的湿法刻蚀。

因涉及到晶体空间方位关系的表示，首先介绍一种特殊投影方法——极射赤面投影法。它可以表达出在平面上三维晶体中晶面、晶向的方位以及它们之间的角度关系。其特点是：